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韩国SEC SNE-3200M经济型台式扫描电镜
韩国SEC SNE-3200M经济型台式扫描电镜的图片
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韩国
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产品简介

SNE-3200M型扫描电镜是韩国SEC公司研制的多功能、经济型Mini-SEM。其分辨率为15 nm,小型光圈构造实现**6万倍的放大倍率;支持二次电子成像与背散射电子成像,适用于质量管理、研发、教育等目的;可通过U.I界面中鼠标控制简单、方便地操作3轴载台移动;能在双视图模式下同时对SE/BSE图像进行查看与存档。该款电镜简化了操作步骤,让熟练度不高的操作人员或学生使用起来更为便捷。

技术参数:

电子光学系统

分辨率

15nm (30kV, 二次电子成像)

20nm30kV, 背散射电子成像)

放大倍率

20x~60,000x

加速电压

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探测器

二次电子探测器(SE

背散射电子探测器(BSE

电子枪

预对中钨灯丝

载台系统

载台运动

3轴系统 (X, Y, R)

X, Y-: 35mm / R-: 360°

* 影像偏移 : ±150μm

**样品尺寸

70mm(Φ)*30mmH

成像系统

自动功能

自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比与亮度

图像格式

BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系统

真空模式

&低真空

真空泵

旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动)

尺寸与重量

主机

390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg

控制单元

390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg

旋转泵

400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg

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